潔淨室要達到潔淨等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建築平麵、建築構造、建築裝修、人員和物料淨化、空氣潔淨措施、維護管理等。其中空氣潔淨措施是實現潔淨等級的根本保證。就空氣潔淨而言,主要有以下幾項具體(ti) 措施
(1) 對潔淨室的送風必須是有很高潔淨度的空氣。因此,必須選用高效或亞(ya) 高效過濾器(潔淨級別低時)作為(wei) 終端過濾器,對進入潔淨室的空氣,進行最後一級過濾。為(wei) 保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
(2) 根據潔淨室的等級,合理選擇潔淨室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔淨度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利於(yu) 潔淨室內(nei) 的微粒從(cong) 回風口排走。
(3) 有足夠的風量,既為(wei) 了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
(4)不同等級的潔淨室、潔淨室與(yu) 非潔淨室或潔淨室與(yu) 室外之間均應保持一定的正壓值。